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半導體行業(yè):在半導體制造中,TK-100露點計用于潔凈室和干燥室的管理,確保濕度控制在35%-65% RH范圍內,防止芯片腐蝕或顯影液揮發(fā)引發(fā)表面凝結水問題,從而保證工藝穩(wěn)定性1。此外,它還用于高純度氣體(如氨氣、氬氣)的微量水分管理,避免水分污染影響晶圓制造 tekhne 在線露點儀 半導體 氣體純度控制
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