薄膜沉積設(shè)備的運(yùn)行需要多種關(guān)鍵材料,如高純度氣體(如硅烷、氨氣等)和靶材(如鋁、銅、鉭等)。這些材料的質(zhì)量和供應(yīng)穩(wěn)定性對(duì)薄膜沉積設(shè)備的性能和可靠性至關(guān)重要。
例如,高純度氣體的供應(yīng)受到原材料供應(yīng)、生產(chǎn)能力和運(yùn)輸條件等因素的影響。如果氣體供應(yīng)商出現(xiàn)問題,如生產(chǎn)事故或運(yùn)輸延誤,將直接影響薄膜沉積設(shè)備的正常運(yùn)行。
靶材的供應(yīng)也存在類似的風(fēng)險(xiǎn)。一些稀有金屬靶材的供應(yīng)可能受到資源儲(chǔ)量和國(guó)際市場(chǎng)的波動(dòng)影響。例如,鉭靶材主要用于制造高性能的半導(dǎo)體薄膜,其供應(yīng)的穩(wěn)定性難以保證。